Metrology, inspection and process control for microlithography X - 11-13 March 1996, Santa Clara, California
- Författare
- (Susan K. Jones, chair/editor)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 1996 | USA | 2725 sidor. | 0-8194-2101-4 |